उत्पाद की विशेषताएँ
Vigor VMB वाल्व मैनिफोल्ड बॉक्स एक मॉड्यूलर गैस वितरण और नियंत्रण प्रणाली है जो विशेष रूप से उच्च-शुद्धता वाले इलेक्ट्रॉनिक-ग्रेड अक्रिय गैसों (जैसे CF₄, SF₆, Ar, HE, आदि) के लिए डिज़ाइन किया गया है। कई वाल्वों, बुद्धिमान निगरानी और क्लीनरूम-ग्रेड असेंबली को एकीकृत करके, यह वितरण के दौरान गैस शुद्धता, स्थिरता और सुरक्षा सुनिश्चित करता है। यह व्यापक रूप से अर्धचालक विनिर्माण, फोटोवोल्टिक ऊर्जा उत्पादन, अनुसंधान प्रयोगशालाओं और सटीक गैस प्रबंधन की आवश्यकता वाले अन्य क्षेत्रों में उपयोग किया जाता है।
तकनीकी निर्देश
| वर्ग | पैरामीटर विवरण |
|---|---|
| नमूना: | वीएमबी वाल्व मैनिफोल्ड बॉक्स |
| लागू गैसें: | अक्रिय गैसें (CF₄, SF₆, CHF₃, AR, HE, आदि) |
| गैस आपूर्ति मोड: | एकल-सिलेंडर \/ दोहरे सिलेंडर कॉन्फ़िगरेशन वैकल्पिक |
| बिजली की आपूर्ति: | 110 ~ 240V एसी |
| सामग्री: | वाल्व और ट्यूबिंग घटक: एसएस 316 एल |
| सुरक्षा स्तर: | सेमी एस 2 आज्ञाकारी, संक्षारण-प्रतिरोधी डिजाइन |
मुख्य कार्य और विशेषताएं
कुशल गैस वितरण
1)निरंतर, निर्बाध गैस आपूर्ति के लिए वैकल्पिक स्वचालित स्विचओवर के साथ एकल-सिलेंडर या दोहरे सिलेंडर कॉन्फ़िगरेशन का समर्थन करता है।
2) अंतर्निहित मल्टी-वाल्व डिज़ाइन को लचीले रूप से जटिल गैस वितरण की जरूरतों को पूरा करने के लिए।
उच्च स्वच्छता और सीलिंग
1)वाल्व और टयूबिंग एसएस 316L सामग्री से बने होते हैं; कण संदूषण को रोकने के लिए पूरे सिस्टम को कक्षा 100 क्लीनरूम में इकट्ठा किया जाता है।
2) हीलियम लीक डिटेक्शन स्टैंडर्ड: लीक दर से कम या 1 × 10⁻⁸ mbar · l\/s के बराबर, अल्ट्रा-हाई सीलिंग आवश्यकताओं को पूरा करना।
बुद्धिमान नियंत्रण
1)वैकल्पिक पीएलसी नियंत्रण प्रणाली, स्मार्ट निगरानी प्लेटफार्मों में एकीकरण के लिए मोडबस संचार इंटरफ़ेस का समर्थन करना, दूरस्थ संचालन और डेटा प्रबंधन को सक्षम करना।
2) सिलेंडर दबाव, गैस प्रवाह दर और एक सहज उपयोगकर्ता इंटरफ़ेस के साथ अलार्म स्थिति के वास्तविक समय की निगरानी के लिए टचस्क्रीन डिस्प्ले।
बहु सुरक्षा सुरक्षा
1)उच्च\/कम दबाव श्रव्य और दृश्य अलार्म जो आपातकालीन गैस शटऑफ को स्वचालित रूप से ट्रिगर करते हैं।
2) वैकल्पिक वेंटिंग और पर्सिंग फ़ंक्शंस, सिस्टम ओवरप्रेस को रोकने के लिए एक सुरक्षा राहत उपकरण के साथ एकीकृत।
3) परीक्षण के दबाव के 110% तक अधिकतम काम के दबाव के साथ, सेमी एस 2 मानकों और अंतर्राष्ट्रीय अग्नि सुरक्षा कोड का अनुपालन करता है।
आवेदन
1)अर्धचालक विनिर्माण:वेफर नक़्क़ाशी और बयान प्रक्रियाओं के लिए उच्च शुद्धता निष्क्रिय गैसों का सटीक वितरण।
2)फोटोवोल्टिक उद्योग:सौर पैनल उत्पादन के लिए विशेष गैसों (जैसे SF) की स्थिर आपूर्ति।
3)अनुसंधान प्रयोगशालाएँ:बहु-चैनल गैस प्रयोगों का केंद्रीकृत नियंत्रण और प्रबंधन।
4)बायोफार्मास्युटिकल उद्योग:बाँझ वातावरण में अक्रिय गैसों का सुरक्षित संचरण और वितरण।
चित्र
अर्द्ध स्वचालित
सिस्टम में 3\/8 "मेन लाइन और 1\/4" शाखा लाइनों (1 इनलेट, 4 आउटलेट) के साथ स्वचालित शट-ऑफ और पर्सिंग फ़ंक्शन शामिल हैं। इसमें पीएलसी कंट्रोल, ए 7- इंच टचस्क्रीन इंटरफ़ेस, और ब्रांच लाइन प्रेशर रेगुलेशन है। इसके अतिरिक्त, सिस्टम बढ़ाया प्रदर्शन के लिए पैनल सतह हीटिंग से लैस है।
गाइड
सिस्टम में मैनुअल गैस की आपूर्ति और प्रक्रिया गैस शुद्धिकरण फ़ंक्शन शामिल हैं, जिसमें 3\/8 "मेन लाइन और 1\/4" शाखा लाइनें (1 इनलेट, 4 आउटलेट) हैं। यह इष्टतम नियंत्रण के लिए शाखा लाइन दबाव विनियमन की सुविधा देता है।
उपवास
Q1: सिस्टम सिंगल और ड्यूल-सिलेंडर कॉन्फ़िगरेशन के बीच कैसे स्विच करता है?
A: दोहरी-सिलेंडर कॉन्फ़िगरेशन स्वचालित स्विचओवर (PLC मॉड्यूल की आवश्यकता) का समर्थन करता है। जब प्राथमिक सिलेंडर का दबाव गिरता है, तो सिस्टम स्वचालित रूप से निरंतर आपूर्ति सुनिश्चित करने के लिए बैकअप सिलेंडर पर स्विच करता है।
Q2: गैस रिसाव का पता कैसे लगाया जाता है?
एक: सिस्टम अखंडता को हीलियम मास स्पेक्ट्रोमेट्री लीक डिटेक्शन के माध्यम से सत्यापित किया जाता है। टचस्क्रीन पर प्रदर्शित असामान्य दबाव के रुझान या अलार्म संकेतों के माध्यम से दैनिक निगरानी की जा सकती है।
Q3: क्या टचस्क्रीन ऐतिहासिक डेटा निर्यात कर सकता है?
A: मानक टचस्क्रीन वास्तविक समय डेटा डिस्प्ले का समर्थन करता है। यदि एक पीएलसी मॉड्यूल से लैस है, तो डेटा को सीएसवी प्रारूप में यूएसबी इंटरफ़ेस या संचार प्रोटोकॉल (जैसे मोडबस) के माध्यम से निर्यात किया जा सकता है।
Q4: अनुशंसित रखरखाव चक्र क्या है?
A: यह हर छह महीने में वाल्व सीलिंग और रिसाव दरों का निरीक्षण करने और सालाना दबाव सेंसर को कैलिब्रेट करने की सिफारिश की जाती है। उच्च-आवृत्ति वाले उपयोग के वातावरण में, हर तीन महीने में निरीक्षण किया जाना चाहिए।
Q5: क्या सिस्टम संक्षारक गैसों का समर्थन करता है?
A: यह मॉडल अक्रिय गैसों के लिए डिज़ाइन किया गया है। यदि संक्षारक गैसों (जैसे, एचसीएल) को संभाला जाना चाहिए, तो डुप्लेक्स स्टेनलेस स्टील सामग्री और विशेष सील के साथ अनुकूलन की आवश्यकता होती है। कृपया विवरण के लिए तकनीकी सहायता से संपर्क करें।
Q6: स्थापना के दौरान क्या विचार किया जाना चाहिए?
एक: एक स्वच्छ और कंपन-मुक्त स्थापना वातावरण, आरक्षित शक्ति और निकास कनेक्शन सुनिश्चित करें, और सुनिश्चित करें कि गैस सिलेंडर क्षेत्र लोड-असर आवश्यकता (500 किग्रा\/मीटर से अधिक या उससे अधिक या उससे अधिक) को पूरा करता है।
निष्कर्ष
Vigor VMB वाल्व मैनिफोल्ड बॉक्स (VMB) सटीक नियंत्रण और कठोर सुरक्षा मानकों के माध्यम से उच्च शुद्धता गैस प्रबंधन के लिए विश्वसनीय समाधान प्रदान करता है। अनुकूलित कॉन्फ़िगरेशन या विस्तृत तकनीकी विनिर्देशों के लिए, कृपया आधिकारिक VIGOR सेवा टीम से संपर्क करें।
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