टेक इनसाइट|एपी, बीए, ईपी: टयूबिंग भूतल उपचार का त्रिस्तरीय विकास

316L स्टेनलेस स्टील टयूबिंग के एक ही टुकड़े के लिए, कीमतें कई गुना भिन्न हो सकती हैं। रहस्य दीवार की मोटाई में नहीं, बल्कि भीतरी सतह में छिपा है। आवश्यक गैस शुद्धता जितनी अधिक होगी, टयूबिंग की आंतरिक "त्वचा" पर मांग उतनी ही सख्त होगी। तीन पदनाम एपी, बीए और ईपी टयूबिंग की आंतरिक सतहों के लिए तीन उद्योग-परिभाषित ग्रेडिंग मानकों का प्रतिनिधित्व करते हैं।

एपी (एसिड पिकलिंग) ट्यूबिंग में सतह के पैमाने और दूषित पदार्थों को हटाने के लिए एसिड पिकलिंग होती है, जिसके परिणामस्वरूप आंतरिक सतह अपेक्षाकृत खुरदरी हो जाती है। यह सामान्य प्रयोजन औद्योगिक गैस पाइपिंग के लिए है। इसके फायदे कम लागत और कम लीड-टाइम हैं, जो ढीले कण और अशुद्धता आवश्यकताओं वाले अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त हैं, जैसे सामान्य संपीड़ित हवा और नाइट्रोजन शुद्ध लाइनें।

बीए (ब्राइट एनीलिंग) टयूबिंग को हाइड्रोजन वायुमंडल या वैक्यूम के तहत इसकी सतह पर एक घनी निष्क्रिय फिल्म बनाने के लिए एनील्ड किया जाता है, जिससे Ra＜0.4 μm की आंतरिक सतह खुरदरापन प्राप्त होता है। एपी ट्यूबिंग की तुलना में, बीए ट्यूबिंग चिकनी सतह, बेहतर संक्षारण प्रतिरोध और कणों और नमी के स्पष्ट रूप से कम सोखने की सुविधा प्रदान करती है। इसे उच्च शुद्धता वाले गैस परिवहन के लिए व्यापक रूप से अपनाया जाता है।

ईपी (इलेक्ट्रो-पॉलिशिंग) टयूबिंग को बीए उपचार के आधार पर आगे इलेक्ट्रो-पॉलिश किया जाता है। एनोड के रूप में काम करने वाले टयूबिंग के साथ, आंतरिक सतह को समतल करने के लिए सतह की चोटियों को इलेक्ट्रोलाइट में घोल दिया जाता है, जिससे 5‑10 μin Ra (लगभग . 0.13‑0.25 μm) का खुरदरापन प्राप्त होता है। इलेक्ट्रो-पॉलिशिंग एक दर्पण-चिकनी आंतरिक सतह प्रदान करती है, अवशिष्ट धातु कणों और प्रक्रिया-प्रेरित संदूषण को समाप्त करती है, और एक क्रोमियम-समृद्ध निष्क्रिय परत उत्पन्न करती है - अर्धचालक अल्ट्रा-उच्च-शुद्धता गैस प्रणालियों में उपयोग किए जाने वाले टयूबिंग के लिए एक अनिवार्य आवश्यकता।

वेफर निर्माण में, टयूबिंग की दीवारों से निकलने वाले छोटे धातु के कण या नमी के अणु भी वेफर दोष पैदा कर सकते हैं। एक खुरदरी सतह गंदगी फँसाने वाले स्पंज की तरह काम करती है: यह नमी और अशुद्धियों को सोख लेती है, जो समय के साथ धीरे-धीरे निकल जाती हैं। इसके विपरीत, चिकनी, घनी ईपी सतह कणों और नमी के चिपकने के लिए कोई जगह नहीं छोड़ती है, और शुद्धिकरण और विनिमय चक्र के समय में भारी कटौती करती है। ईपी टयूबिंग अल्ट्रा-उच्च-शुद्धता वाले गैस वितरण के लिए शुद्धता की रक्षा करने वाला पहला भौतिक अवरोध बनाता है।

यह ध्यान देने योग्य है कि सामग्री ग्रेड और सतह उपचार संचयी विनिर्देश हैं। VIGOR VUPS अल्ट्रा-उच्च-शुद्धता श्रृंखला: यूबी मॉडल 10/25 μin Ra सतह फिनिश के साथ मानक 316L सब्सट्रेट का उपयोग करता है; यूसी मॉडल को 5/7/10 μin Ra सतह फिनिश के साथ रीमेल्टेड 316L सब्सट्रेट में अपग्रेड किया गया है। आंतरिक-सतह प्रदर्शन को अनुकूलित करने के लिए सामग्री की शुद्धता और सतह की चिकनाई दोनों को बढ़ाया जाता है। टयूबिंग का चयन करते समय, एक मुख्य प्रश्न पर विचार किया जाना चाहिए: आंतरिक सतह "त्वचा" का कौन सा ग्रेड आपकी गैस-शुद्धता की आवश्यकता से मेल खाता है?