सेमीकंडक्टर निर्माण में गैस की शुद्धता कितनी महत्वपूर्ण है?
सेमीकंडक्टर विनिर्माण में सामान्य सहमति
सेमीकंडक्टर निर्माण में एक अच्छी तरह से स्थापित आम सहमति कायम है: चिप प्रदर्शन की ऊपरी सीमा डिजाइन द्वारा परिभाषित की जाती है, जबकि उत्पादन उपज की निचली सीमा सामग्री की शुद्धता पर निर्भर करती है।
छवि इंटरनेट से ली गई है।
एक चिप के पीछे पूरी गैस सूची
वेफर की सफाई और पतली फिल्म के जमाव से लेकर नक़्क़ाशी और डोपिंग तक, एक 12 इंच के वेफर की उत्पादन प्रक्रिया में 30 से अधिक प्रकार की प्रक्रिया गैसें शामिल होती हैं, जिनमें सिलेन, अमोनिया, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड, टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड, हाइड्रोजन क्लोराइड और बहुत कुछ शामिल हैं। प्रत्येक गैस को अति-उच्च शुद्धता पर प्रतिक्रिया कक्ष तक पहुंचाया जाना चाहिए।
गैस पाइपिंग में प्रवेश करने वाले पीपीबी स्तर (नमी, ऑक्सीजन, पार्टिकुलेट मैटर) पर मौजूद अशुद्धियाँ पतली {{0}फिल्म दोष और इंटरफेशियल संदूषण को ट्रिगर कर सकती हैं, जिससे सीधे उत्पादन उपज में कमी आ सकती है। उदाहरण के तौर पर 3एनएम प्रक्रिया को लेते हुए, प्रत्येक व्यक्तिगत चिप का मूल्य सैकड़ों अमेरिकी डॉलर है; उपज में मात्र 1% का उतार-चढ़ाव करोड़ों के मुनाफ़े को ख़त्म करने के लिए पर्याप्त है।
"उच्च शुद्धता" पर्याप्त क्यों नहीं है?
सेमीकंडक्टर उद्योग के भीतर, "उच्च शुद्धता" का अर्थ "प्रक्रिया -तैयार" नहीं है। वास्तविक चुनौती गैस स्रोत से उपयोग के बिंदु (पीओयू) तक संपूर्ण वितरण पथ के दौरान गैस को शुद्धता बनाए रखने - को संदूषण मुक्त बनाए रखने में है।
इसे प्राप्त करने के लिए तीन मुख्य सुरक्षा उपाय मिलकर काम करते हैं:
(1)सामग्री चयन: बेस सामग्री से मौलिक आउटगैसिंग को कम करने के लिए टयूबिंग और वाल्व बॉडी VIM+VAR डबल रीमेल्टेड 316L स्टेनलेस स्टील से निर्मित की जाती है।
(2)सतह परिष्करण: कण आसंजन और नमी सोखना को कम करने के लिए इलेक्ट्रोपॉलिशिंग (ईपी) उपचार के साथ आंतरिक सतह खुरदरापन रा 0.25 μm (10 μin.) से कम या उसके बराबर।
(3)हर्मेटिक सीलिंग अखंडता: बाहरी संदूषण के प्रवेश को पूरी तरह से रोकने के लिए हीलियम रिसाव दर 1×10⁻⁹ एटीएम·सीसी/सेकंड से कम या उसके बराबर।
सेमीकंडक्टर गैस वितरण समाधान
VIGOR VUPS Ultra{{0}उच्च शुद्धता उत्पाद श्रृंखला SEMI मानकों का अनुपालन करने वाली पूर्ण गैस वितरण श्रृंखला को कवर करती है, जिसमें VCR मेटल फेस {{1}सील फिटिंग, उच्च {{2}शुद्धता डायाफ्राम वाल्व और दो {{3}स्टेज दबाव नियामक शामिल हैं।
शिपमेंट से पहले सभी उत्पादों को इकट्ठा किया जाता है, परीक्षण किया जाता है और कक्षा 100 क्लीनरूम में डबल {{0}बैग वैक्यूम {{1}पैक किया जाता है। ग्राहकों को केवल अलग-अलग वाल्व नहीं मिलते, बल्कि एक संपूर्ण प्लग{{4}और{5}प्ले अल्ट्रा{{6}उच्च शुद्धता आश्वासन प्रणाली मिलती है।
VIGOR उत्पाद कई वेफर फैब्स में विशेष गैस वितरण प्रणालियों और सीवीडी/पीवीडी गैस आपूर्ति पाइपलाइनों में विश्वसनीय रूप से काम कर रहे हैं, जो सिलेन, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड और बोरोन ट्राइक्लोराइड जैसी महत्वपूर्ण प्रक्रिया गैसों के साथ संगत हैं।
सेमीकंडक्टर निर्माण प्रदूषकों के खिलाफ एक अंतहीन दौड़ है - और VIGOUR का मिशन इस दौड़ के लिए सबसे स्वच्छ शुरुआती लाइन सुनिश्चित करना है।
